真空貼合
精密枚葉貼合機

貼合プロセスに独自開発の特殊チャッキングを導入することにより、硬質材や異形、凹凸物の真空精密貼合を実現しました。 従前の大型の真空チェンバーや静電チャッキング必要とせずに、高度な貼合が可能です。また特殊治具により真空チェンバー内でのワーク位置ズレを防止します。 もちろん大気中での高品位な貼合も行えます。

特徴

静電チャッキングを使わず、大幅なコストダウンを図りつつ、高品位な真空精密貼合工程を構築できます。

真空チェンバー内でワークをしっかりと吸着する、特殊チャッカー機能を導入しています。

ストレスフリーの均等圧貼合を実現。凹凸面ワークの高機能性を維持したまま正確に立体貼合します。

位置決め用セット治具により、ワーク位置がずれる心配がありません。

ＣＣＤカメラにより自動貼合位置合わせを実現。高精度バッチ貼合（貼合位置精度±0.05mm）を叶えました。